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거림테크(주) 초전도용 MRDS Sputter M/C 프로젝트는차세대 초전도 소재 제조 공정에 적용되는 MRDS(Multi-Rotation Deposition System) 기반고정밀 스퍼터링 공정을 구현하기 위한 전용 박막 증착 설비 구축 사업입니다.본 프로젝트는 대면적 기판의 막 두께 균일도와 결정 품질을 안정적으로 확보하여,초전도 소자의 성능 신뢰성과 양산 적용성을 향상시키는 것을 목표로 추진되었습니다.